真空泵是指通过气体体积变化把空间内的气体抽成密度特小的真空状态的设备，真空泵使用的润滑油就叫真空泵油。按设备抽真空的状态，真空泵可分为机械真空泵和扩散泵。扩散泵使用的润滑油叫扩散油，它不仅是润滑油，还是工作液，其性能要求与用于机械真空泵的润滑油有很大不同。

真空泵油的性能要求主要表现在以下几方面：

1、有适当的黏度，一般为ISO32~150,一般转速越高，线速度越大，配合间隙越小，则选的黏度越低;

2、有低的饱和蒸气压，就是要有窄的馏分，尽量少含轻组分，这是真空泵油的要求;

3、有优良的热稳定性和抗氧化性，这相同于压缩机油;

4、有好的分水性和抗泡沫性，这也与压缩机油一致。

扩散泵油主要有以下性能要求：

1、在冷凝器的温度下(约20℃)必须有低的饱和蒸气压才能得到高的真空度;

2、在蒸发器的温度下应有尽可能大的饱和蒸气压，使真空泵能在较高的出口压强下工作;

3、有优良的热稳定性和抗氧化性，有长的使用寿命;

4、有些用途还要求有好的化学安定性和抗辐射能力。